這對于A(yíng)SML來(lái)說(shuō)是不是有點(diǎn)魔幻，俄羅斯號稱(chēng)開(kāi)發(fā)出可以替代光刻機的芯片制造工具。
據俄羅斯國際新聞通訊社報道，圣彼得堡理工大學(xué)的研究人員開(kāi)發(fā)出了一種國產(chǎn)光刻復合體，可用于蝕刻生產(chǎn)無(wú)掩模芯片，這將使解決俄羅斯在微電子領(lǐng)域的技術(shù)主權問(wèn)題成為可能。
據介紹，其中一種工具的成本為 500 萬(wàn)盧布（當前約36.3萬(wàn)元人民幣），另一種工具的成本未知。
據開(kāi)發(fā)人員稱(chēng)，傳統光刻技術(shù)需要使用專(zhuān)門(mén)的掩膜板來(lái)獲取圖像。該裝置由專(zhuān)業(yè)軟件控制，可實(shí)現完全自動(dòng)化，隨后的另外一臺設備可直接用于形成納米結構，但也可以制作硅膜，例如用于艦載超壓傳感器。
在這之前，俄羅斯科學(xué)院下諾夫哥羅德應用物理研究所就宣布開(kāi)始朝這個(gè)方向展開(kāi)工作，所以有上述成功產(chǎn)生并不意外。
要知道，俄羅斯大諾夫哥羅德策略發(fā)展機構發(fā)豪語(yǔ)，宣稱(chēng)俄羅斯科學(xué)院旗下應用物理研究所將會(huì )跌破所有人眼鏡，在2028年開(kāi)發(fā)出可以生產(chǎn)7納米芯片的光刻機，還可擊敗ASML同類(lèi)產(chǎn)品。
