據合肥高新發(fā)布公眾號，合肥國鏡儀器近日發(fā)布了其自主研發(fā)的世界首臺冷場(chǎng)臺式電鏡。
據了解，冷場(chǎng)掃描電鏡（SEM）是納米尺度下微觀(guān)檢測的核心儀器，廣泛應用于科研和工業(yè)檢測，對新材料、新能源等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要支撐作用。
冷場(chǎng)電子光學(xué)技術(shù)相對于熱發(fā)射和熱場(chǎng)技術(shù)，具有高亮度、低色差等優(yōu)點(diǎn)，然而通常也需要更高的真空要求(10^(-9)Pa)和較高的引出電壓(6-8kV)，目前為海外少數企業(yè)所掌握。
而國鏡儀器的這臺冷場(chǎng)電鏡產(chǎn)品，其獨特的冷場(chǎng)發(fā)射技術(shù)真空要求僅為10^(-7)Pa，引出電壓僅需100V，極大降低了工況要求。
此次發(fā)布的產(chǎn)品也是世界首臺小型化冷場(chǎng)電鏡，標志著(zhù)國內冷場(chǎng)掃描電鏡領(lǐng)域實(shí)現了零的突破。
據介紹，此次發(fā)布的冷場(chǎng)電鏡產(chǎn)品具備超高分辨率、高亮度、小交叉斑直徑、低能量色散等特性，在低加速電壓下相比傳統產(chǎn)品有更好的性能表現。
