10月27日,2021年中國MEMS制造大會(huì )(ChinaMEMS)在江蘇省蘇州市舉行,這是現階段中國MEMS行業(yè)最具影響力的大會(huì ),由中國半導體行業(yè)協(xié)會(huì )MEMS分會(huì )、微納米技術(shù)學(xué)會(huì )、中科院納米所等單位聯(lián)合舉辦。
在大會(huì )期間舉行了“2020年中國半導體MEMS十強企業(yè)”頒獎儀式,宣布了2020年度國內優(yōu)秀的MEMS企業(yè)十強名單,該名單是目前國內最權威的MEMS企業(yè)名錄,代表了目前中國MEMS領(lǐng)域實(shí)力最強的10家頭部企業(yè)。西人馬公司很榮幸地成為這10家企業(yè)之一,這是西人馬公司首次獲得這項殊榮,也是對西人馬公司多年來(lái)深耕MEMS芯片和傳感器領(lǐng)域所取得的成績(jì)的最好肯定和贊譽(yù)。
△Averie博士(左起第四人)代表西人馬公司領(lǐng)獎
先進(jìn)的MEMS制造工藝
MEMS芯片的產(chǎn)業(yè)鏈主要分為設計、制造、封裝和測試。但從目前來(lái)看,國內的芯片廠(chǎng)商多處于芯片生產(chǎn)的下游——封裝和測試階段,在上游的設計和制造工藝階段則少之又少,而芯片的制造工藝又是難點(diǎn)中的難點(diǎn)。西人馬是一家以IDM模式經(jīng)營(yíng)的芯片公司,從芯片的材料到設計、制造、封裝、測試,都是西人馬自主完成。
西人馬公司的MEMS芯片及傳感器車(chē)間配備8英寸并向下兼容6英寸的MEMS生產(chǎn)線(xiàn)和高端傳感器封測線(xiàn),擁有6000平方米的高等級潔凈車(chē)間,具備深硅刻蝕、鍵合、光刻、原子力顯微鏡、掃描電鏡等先進(jìn)的制造、封裝與檢測設備,具備一體化的量產(chǎn)能力。
△西人馬公司的先進(jìn)生產(chǎn)車(chē)間
壓力芯片和傳感器
在種類(lèi)繁多的傳感器市場(chǎng)上,MEMS壓力傳感器已逐漸成為市場(chǎng)規模最大的細分市場(chǎng)之一,在汽車(chē)、工業(yè)、消費電子、醫療和民用航空領(lǐng)域均擁有廣泛的應用。研究數據顯示,MEMS壓力傳感器市場(chǎng)將以每年3.8%的速度成長(cháng),到2023年市場(chǎng)規模將達到20億美元。
西人馬為了滿(mǎn)足市場(chǎng)對于不同應用場(chǎng)景的需求,一直在擴充自己的壓阻式壓力傳感器產(chǎn)品矩陣。西人馬的TYZV系列傳感器從設計、制造、封裝到測試,整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈做到了完全自主研發(fā)。其所生產(chǎn)的產(chǎn)品具有優(yōu)異的穩定性和靈敏度,內部采用獨特的補償技術(shù),具有卓越的精度,可以精準測量微小壓力。另外,壓力傳感器還有高可靠性、高穩定性等特點(diǎn),產(chǎn)品的壓力范圍、精度、使用環(huán)境能非常優(yōu)良地匹配各類(lèi)產(chǎn)品。
△西人馬的壓阻式壓力傳感器產(chǎn)品線(xiàn)
壓力傳感器的核心部件就是壓力芯片,而西人馬公司能研發(fā)出一系列高性能的壓力傳感器產(chǎn)品,最大的優(yōu)勢便在于其能夠自主研發(fā)壓力芯片。西人馬的壓力芯片采用6英寸MEMS產(chǎn)線(xiàn)加工完成,該芯片由一個(gè)彈性膜和集成在膜上的若干個(gè)壓敏電阻組成,電阻形成了惠斯通全橋或半橋結構,當有壓力作用在彈性膜上時(shí)電橋會(huì )產(chǎn)生一個(gè)與所加壓力成線(xiàn)性比例關(guān)系的電壓輸出信號。
從性能來(lái)看,西人馬的壓力芯片主要工作于-55～125℃和-55～260℃兩個(gè)溫度區域,芯片尺寸從0.6mm x 0.6mm到2.0mm x 2.0mm。此外,壓力芯片具有良好的綜合精度和穩定性,零點(diǎn)溫漂和滿(mǎn)量程溫漂小,擁有優(yōu)異的抗干擾能力和抗靜電能力,過(guò)載能力強,靈敏度高,方便采用運放或集成電路針對輸出進(jìn)行調試。
紅外熱電堆芯片和測溫傳感器
自從疫情爆發(fā)以來(lái),紅外體溫檢測儀在市場(chǎng)上一直是搶手貨,而檢測儀的核心部件紅外熱電堆芯片更是供不應求。西人馬公司未雨綢繆,早在疫情初期就自主研發(fā)、生產(chǎn)了紅外熱電堆芯片。該芯片具有高靈敏度、快速響應時(shí)間和寬測量溫度范圍的產(chǎn)品特性,超高的性能滿(mǎn)足了紅外測溫傳感器的需求。
在紅外熱電堆芯片基礎上,西人馬自研的SGXV02系列紅外測溫傳感器應運而生。這款傳感器具有非接觸表面溫度測量、5.5μm紅外濾光片、快速響應時(shí)間以及寬測量溫度范圍的產(chǎn)品特性,靈敏度可達[500 mV,1000mV)(24±1℃,黑體溫度35±1℃,電壓放大1000倍),測溫分辨率最低達到0.1℃(35℃~41℃),性能優(yōu)于國外同類(lèi)產(chǎn)品。
△SGXV02紅外測溫傳感器
雄厚的研發(fā)實(shí)力
西人馬公司擁有近千名員工,科研人員約600人,其中研發(fā)人員碩博士占比在95%以上。博士學(xué)歷分布于材料學(xué)、生物學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、微機電等專(zhuān)業(yè)。西人馬的高端人才一般從日本、韓國、中國臺灣等芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)達地區引進(jìn),核心技術(shù)人員如質(zhì)量總監、項目經(jīng)理、產(chǎn)品經(jīng)理大多來(lái)自于世界500強或國內知名的上市公司。這些核心人員具備國際化的視野,也非常有助于公司搭建出一支技術(shù)強、會(huì )打仗、能拼搏的團隊。
目前西人馬已經(jīng)擁有了超過(guò)500項專(zhuān)利,并以每年30%的速度快速遞增,此外還有近300套工作說(shuō)明及標準作業(yè)指引。西人馬遵循目前國際最高標準《航空AS9100D》和《醫療ISO13485》,具有ISO/IEC17025資質(zhì)的實(shí)驗室并取得CNAS認證。西人馬公司的全部校準人員都經(jīng)過(guò)ISO17025培訓并取得資質(zhì)。
西人馬公司自創(chuàng )立以來(lái)首次獲得中國半導體MEMS十強企業(yè)榮譽(yù),這是全體FATRI人的驕傲,也是西人馬在MEMS領(lǐng)域持續發(fā)展的動(dòng)力。另外,在MEMS領(lǐng)域深耕多年的西人馬公司正以只爭朝夕的勢頭開(kāi)拓新的領(lǐng)域,雖然這注定將是一條漫長(cháng)而艱難的征途,但是只有那些不懼艱險、經(jīng)受住考驗的企業(yè)才能成為最后的贏(yíng)家。西人馬公司,將會(huì )成為中國半導體行業(yè)的一顆璀璨的明星。
